Teste de wafer de 6 ou 8 polegadas

O teste de wafer de 6 ou 8 polegadas da Deaote foi projetado para atender aos rigorosos requisitos de teste em nível de wafer - incluindo precisão de posicionamento submícron, controle de força de contato estável e compatibilidade com diversos tipos de wafer - esta estação de sonda integra sistemas avançados de controle de movimento, tecnologia de mandril a vácuo e design antivibração para fornecer desempenho confiável e repetível para caracterização elétrica, testes paramétricos e testes de confiabilidade de wafers semicondutores.

Construída com décadas de experiência da Deaote na fabricação de moldes de precisão e componentes de movimento, a estação de sonda de teste Wafer de 6 ou 8 polegadas apresenta uma base de granito rígida e termicamente estável e um estágio XY ultrapreciso, garantindo alinhamento em nível de mícron entre os cartões de sonda e as matrizes do wafer. É compatível com uma ampla variedade de placas de sonda (verticais, cantilever, MEMS) e equipamentos de teste (sistemas ATE, analisadores paramétricos), tornando-o adequado tanto para P&D quanto para testes de produção em alto volume de chips lógicos, chips de memória, semicondutores de potência e dispositivos optoeletrônicos.

O design modular da estação de sonda de teste de wafer de 6 ou 8 polegadas permite fácil personalização para atender a requisitos de teste específicos, incluindo opções de mandril com temperatura controlada (-40°C a 150°C) para testes de alta/baixa temperatura, manuseio automatizado de wafer para produção de alto rendimento e integração perfeita com sistemas de aquisição de dados. Nossa solução ajuda fabricantes de semicondutores e laboratórios de testes a melhorar a precisão dos testes, reduzir taxas de falhas falsas e aumentar a eficiência geral dos testes.

Principais vantagens

1. Precisão de posicionamento submícron

Equipada com feedback de circuito fechado de codificador linear de alta resolução (resolução de 0,05 μm) e estágio XY com rolamento de ar, a estação de sonda atinge precisão de posicionamento de repetição de ± 0,5 μm e precisão de posicionamento absoluto de ± 1 μm para alinhamento de wafer. Isso garante o contato preciso entre as agulhas da sonda e as almofadas do wafer (precisão de contato ≤1μm), eliminando erros de teste induzidos por desalinhamento e garantindo resultados confiáveis ​​de caracterização elétrica.

2. Controle de força de contato estável

O acionamento cerâmico piezoelétrico integrado e o sistema de detecção de força permitem o controle preciso da força de contato da sonda (0,1 g a 50 g por agulha), com distribuição de força uniforme em todo o cartão da sonda. Isso evita danos à almofada do wafer (arranhões, delaminação) e garante resistência de contato elétrico consistente, fundamental para aplicações de teste de wafer de baixa potência e alta frequência.

3. Design termicamente estável e antivibração

Construída com uma base de granito natural (coeficiente de expansão térmica ultrabaixo ≤0,5×10⁻⁶/℃) e sistema antivibração ativo, a estação de sonda minimiza o desvio de posição causado por flutuações de temperatura e vibrações externas. O mandril com temperatura estabilizada (estabilidade de temperatura ±0,1°C) garante ainda condições de teste consistentes, essenciais para testes paramétricos de alta precisão de semicondutores.

4. Compatibilidade e flexibilidade de wafer de 6/8 polegadas

A estação de sonda de teste de wafer de 6 ou 8 polegadas suporta alternância perfeita entre tamanhos de wafer de 6 e 8 polegadas com mandril de vácuo ajustável e guias de alinhamento de wafer, sem necessidade de substituição de acessórios personalizados. É compatível com vários tipos de wafer (silício, GaAs, SiC, GaN) e espessuras (100μm a 775μm), adaptando-se a diversas necessidades de teste de semicondutores (lógica, memória, dispositivos de potência, optoeletrônica).

5. Alto rendimento e fácil operação

Algoritmos de controle de movimento otimizados permitem movimento rápido do estágio de wafer (velocidade máxima de 100 mm/s) e posicionamento rápido de matriz a matriz (tempo de acomodação ≤50 ms), suportando testes de alto rendimento (até 2.000 matrizes por hora). A IHM intuitiva com tela sensível ao toque e software compatível (interfaces GPIB, USB, Ethernet) permitem fácil integração com sistemas ATE e fluxos de trabalho de testes automatizados, reduzindo o tempo de treinamento do operador e erros humanos.

6. Baixa manutenção e longa vida útil

O estágio com rolamento pneumático e os mecanismos de acionamento sem contato eliminam o desgaste mecânico, reduzindo a frequência de manutenção e prolongando a vida útil (MTBF ≥30.000 horas). O design fechado com sistema de filtragem HEPA evita a contaminação por poeira de wafers e cartões de sonda, enquanto o grau de proteção IP54 garante operação confiável em ambientes de sala limpa (Classe 1000/100).

Especificações Técnicas

Cenários de aplicação

Projetada exclusivamente para testes de wafer de 6/8 polegadas, nossa estação de sonda é amplamente utilizada nas seguintes aplicações de teste de semicondutores:

● Testes Paramétricos: Caracterização DC/AC de chips lógicos, chips de memória (DRAM, NAND) e semicondutores de potência (MOSFET, IGBT)

● Teste de confiabilidade: ciclos de alta/baixa temperatura, testes de burn-in e testes de vida útil de dispositivos semicondutores

● Teste de dispositivos optoeletrônicos: teste de diodo laser (LD), fotodiodo (PD) e nível de wafer de LED

● Teste de semicondutores compostos: testes de wafer de GaAs, SiC e GaN para dispositivos de RF e de energia

● P&D e produção em pequenos lotes: prototipagem e testes de validação de novos projetos de semicondutores

Sobre Deaote

Suzhou Deaote Precision Mold Co., Ltd. é uma empresa líder de alta tecnologia especializada em P&D, fabricação e vendas de moldes de precisão, componentes de movimento de alta precisão e equipamentos de teste de semicondutores personalizados. Com mais de 15 anos de experiência em fabricação de precisão, atendemos clientes globais nos setores de semicondutores, eletrônicos e automação industrial.

Nossa estação de sonda de teste de wafer de 6 ou 8 polegadas aproveita nossa tecnologia de molde de precisão central e experiência em controle de movimento para enfrentar os desafios exclusivos de teste de wafer de semicondutores. Fornecemos soluções completas, desde o design personalizado da estação de sonda até a instalação no local, calibração e suporte pós-venda, garantindo que nossos produtos atendam aos mais altos padrões de precisão, confiabilidade e eficiência.

Comprometida com "A precisão impulsiona o progresso, a inovação cria valor", Suzhou Deaote adere a rigorosos sistemas de gestão de qualidade (certificado ISO 9001:2015) e investimento contínuo em P&D, fornecendo soluções de teste que ajudam nossos clientes a permanecerem competitivos na indústria de semicondutores em rápida evolução.