Módulo de motor linear de mármore de eixo duplo

Construído sobre uma base de granito grau 00 (selecionado por seu baixo coeficiente de expansão térmica e propriedades de amortecimento de vibração), este módulo de motor linear de mármore de eixo duplo integra dois eixos de motor linear de alto desempenho com guias de rolamento de ar para fornecer precisão de repetição de ± 0,5 μm - ideal para litografia de semicondutores, microusinagem a laser, inspeção óptica e sistemas de metrologia de precisão.

Projetado para atender às limitações dos estágios de eixo duplo à base de alumínio ou aço (desvio térmico, vibração, baixa rigidez), nosso módulo de motor linear de mármore de eixo duplo elimina a deformação mecânica sob movimento de alta velocidade (até 2 m/s por eixo) e mantém uma precisão consistente em todas as temperaturas operacionais (-10°C a 40°C). O sistema de controle síncrono do eixo XY (baseado em EtherCAT) permite a sincronização de movimento em nível nanométrico, crítica para processos de ultraprecisão, como empacotamento de chips de 7 nm, fabricação de componentes microópticos e medição 3D avançada.

Fabricado sob os padrões de qualidade óptica ISO 9001:2015 e ISO 10110, o módulo de motor linear de mármore de eixo duplo apresenta um sistema de gerenciamento de cabos selado, revestimento antiestático e opções compatíveis com vácuo (para uso em salas limpas de semicondutores). Compatível com controladores de movimento líderes do setor (Aerotech, PI, Newport) e sistemas de metrologia (interferômetros a laser Renishaw), ele se integra perfeitamente a linhas de fabricação de ultraprecisão, melhorando o rendimento do processo em até 20% em comparação com estágios convencionais de eixo duplo de base metálica.

Série de produtos

Série DT-GM-DX1 (Precisão Compacta)

Faixa de deslocamento XY: 100 × 100 mm a 500 × 500 mm, precisão de repetição de ± 0,5 μm, velocidade máxima de 1 m / s por eixo. Ideal para usinagem de componentes microópticos, metrologia de precisão e embalagens de semicondutores de pequeno formato.

Série DT-GM-DX2 (alta velocidade média)

Faixa de deslocamento XY: 500 × 500 mm a 1000 × 1000 mm, precisão de repetição de ± 1 μm, velocidade máxima de 2 m / s por eixo. Adequado para microusinagem a laser, reparo de painel LCD e inspeção óptica de médio formato.

Série DT-GM-DX-VAC (compatível com vácuo)

Faixa de deslocamento XY: 100 × 100 mm a 800 × 800 mm, precisão de repetição de ± 0,5 μm, classificação de vácuo de 10⁻⁶ mbar. Projetado para aplicações em salas limpas de semicondutores, revestimento a vácuo e sistemas de simulação espacial.

Principais vantagens

1. Base de granito de grau 00 para estabilidade incomparável

Construída em granito natural grau 00 (coeficiente de expansão térmica ≤0,5×10⁻⁶/℃), a base oferece estabilidade térmica excepcional (≤0,001mm/℃) e amortecimento de vibrações (atenua 80% das vibrações de alta frequência). Isso elimina o desvio térmico e a ressonância mecânica – problemas comuns em estágios baseados em metal – em processos de fabricação de ultraprecisão.

2. Precisão submícron com guias de rolamento de ar

As guias lineares com rolamento pneumático integradas (em vez dos rolamentos de esferas tradicionais) eliminam o atrito e o desgaste, alcançando precisão de posicionamento repetido de ±0,5 μm e resolução de 1 nm (através dos encoders absolutos Renishaw). O design sem contato garante operação livre de manutenção por mais de 100 milhões de ciclos, fundamental para produção de alto volume e ultraprecisão.

3. Controle de movimento síncrono do eixo XY

O controle de movimento em tempo real baseado em EtherCAT permite a sincronização em nível nanométrico entre os eixos X e Y (erro de sincronização ≤50nm), suportando perfis de movimento complexos (interpolação circular, varredura espiral) necessários para microusinagem a laser e padronização óptica. A arquitetura aberta é compatível com software de movimento de terceiros (LabVIEW, MATLAB).

4. Alta rigidez e baixa deformação

A estrutura de granito reforçada com nervuras integradas proporciona uma rigidez de ≥300N/μm, minimizando a deflexão sob cargas dinâmicas (até 50kg por eixo). Essa estabilidade garante precisão consistente mesmo durante aceleração em alta velocidade (1g), reduzindo a variação do processo e melhorando o rendimento do produto.

5. Personalizável para aplicações de ultraprecisão

Personalização completa da faixa de deslocamento (100×100mm a 1000×1000mm), resolução do codificador (1nm a 1μm), compatibilidade de vácuo (10⁻³ a 10⁻⁶ mbar) e acabamento superficial (Ra ≤0,02μm). Os recursos opcionais incluem revestimento antiestático, materiais compatíveis com salas limpas e interferometria a laser integrada para calibração in-situ.

6. Confiabilidade de nível industrial para uso em salas limpas

O grau de proteção IP67 (padrão) / IP68 (versão a vácuo), revestimento antiestático (10⁶-10⁹ Ω/sq) e baixa emissão de partículas (compatível com sala limpa Classe 1) o tornam adequado para fábricas de semicondutores e salas limpas de fabricação óptica. MTBF ≥40.000 horas em operação contínua, reduzindo o custo total de propriedade (TCO) em 30% em 5 anos.

Especificações Técnicas

Base de granito (grau 00)±0,5μm Precisão de posicionamento repetido Eixo X-Y Movimento síncronoEstabilidade térmica (≤0,001mm/℃)Alta rigidez (≥300N/μm)

Cenários de aplicação

Os módulos de motor linear de mármore de eixo duplo da Deaote são projetados para fabricação de ultraprecisão em setores globais de alta tecnologia:

● Semicondutores e Microeletrônica: embalagem de chips de 7nm/5nm, inspeção de wafer, alinhamento de litografia, fabricação de dispositivos MEMS

● Fabricação Óptica: Usinagem de componentes microópticos (lentes, prismas), montagem de matrizes de fibra óptica, padronização a laser de substratos de vidro

● Metrologia de precisão: medição óptica 3D, estágios de movimento de máquina de medição por coordenadas (CMM), perfil de superfície em nível nanométrico

● Microusinagem a Laser: Ablação a laser, microperfuração, gravação de precisão de materiais duros (silício, safira, cerâmica)

● Aeroespacial e Defesa: Fabricação de microssensores, calibração de componentes de navegação inercial, montagem de sistema óptico de satélite

Sobre Deaote

é uma empresa líder de alta tecnologia especializada em P&D, fabricação e vendas de componentes de movimento de ultraprecisão - com foco em módulos de motor linear à base de granito para os mercados globais de semicondutores, ópticos e aeroespaciais. Com mais de 15 anos de experiência em moldes de precisão e design de sistemas de movimento de ultraprecisão, atendemos clientes em toda a Europa, América do Norte, Japão e Coreia em setores de manufatura de alta qualidade.

Nossos módulos de motor linear de mármore de eixo duplo são desenvolvidos em nosso laboratório dedicado de P&D de movimento de ultraprecisão, aproveitando usinagem avançada de granito (tolerância de ± 0,001 mm), calibração a laser e tecnologias de montagem de rolamentos de ar para alcançar precisão submícron. Fornecemos serviços de personalização ponta a ponta – desde o design e prototipagem do módulo até a calibração no local e suporte técnico global – garantindo que nossas soluções atendam aos requisitos exclusivos das linhas de fabricação de ultraprecisão.

Comprometida com “Precisão em nível nanométrico, estabilidade para toda a vida”, a Deaote investe 20% da receita anual em P&D para desenvolver soluções de movimento de ultraprecisão de próxima geração. Nossas instalações de produção com certificação ISO 9001:2015 e ISO 10110 e rede de serviços global garantem tempos de resposta rápidos (≤48 horas) e suporte técnico local, tornando-nos um parceiro confiável para fabricantes de equipamentos de ultraprecisão de alta qualidade em todo o mundo.